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TOPCon高效電池管式PECVD設備

核心技術

非晶硅在高溫晶化時脫膜抑制技術

低煤塵制作工藝系統磨合貼膜過程中 電場線電位差設計穩定控住技術應用大空間均衡性設定技木等陰陽離子體單脈沖防防氧化法化學合成超溥防防氧化硅枝術“陽極氧化硅+原位夾雜著非晶硅”二一體化生產工藝技藝
相關描述

金辰股份與中科院寧波材料所展開戰略合作,探索出用管式PECVD裝備實現TOPCon光伏電池核心材料“超薄氧化硅+原位摻雜非晶硅”的制備,同時在抑制非晶硅爆膜、防止電場導通、實現高效電池全工藝集成等關鍵技術方面取得了重大突破,推出了簡化工藝流程解決方案。

等鐵離子體加強型化學上氣候沉淀(PECVD)科技
取決于等亞鐵離子電場強度硅烷解離,沉膜濃度快,夾雜著吸收率高 定向就業的堆積,繞鍍重度,樣品率高 底溫工藝流程,防強酸強堿附物品少,消耗品資金低
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